金屬薄膜式熱敏電阻器在壓力傳感器中的應(yīng)用

　　金屬薄膜式熱敏電阻器應(yīng)用于壓力傳感器中 ，即可以測(cè)溫 ，又可以對(duì)壓力進(jìn)行溫度補(bǔ)償 ，研究了金屬薄膜式電阻器的溫度特性和制備工藝，討論了鉑、鎳、銀薄膜式電阻器在壓力傳感器中的應(yīng)用。
　　金屬薄膜電阻對(duì)溫度敏感 ，選擇其電阻溫度系數(shù)高 ，阻值大 ，并且在大溫度范圍穩(wěn)定的金屬薄膜電阻 ，作為傳感器的熱敏元件 ，特別是將其集成在固態(tài)壓力傳感器的芯片上 ，實(shí)現(xiàn)了傳感器的小型化、集成化和多功能化 ，另外 ，金屬薄膜式熱敏電阻器 ，還具有響應(yīng)快、。